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判斷掃描電鏡（SEM）圖像是否對(duì)焦清晰，可以通過(guò)以下幾個(gè)方面來(lái)進(jìn)行直觀和技術(shù)性的判斷：

1. 邊緣銳利程度

清晰圖像：樣品邊緣輪廓分明，線條清楚，無(wú)模糊或拖尾。

未對(duì)焦圖像：邊緣模糊、發(fā)虛，細(xì)節(jié)被“糊掉”。

2. 細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)表現(xiàn)

放大觀察微觀結(jié)構(gòu)時(shí)，如果：

表面顆粒、裂紋、孔洞等結(jié)構(gòu) 層次分明、紋理清晰，說(shuō)明對(duì)焦良好；

若呈現(xiàn)為 糊狀、無(wú)細(xì)節(jié)對(duì)比，則說(shuō)明未對(duì)焦或景深不足。

3. 圖像對(duì)比度和亮暗過(guò)渡

正常對(duì)焦的圖像，灰度分布合理，明暗過(guò)渡自然；

未對(duì)焦時(shí)，圖像整體偏灰或灰度層次不明顯，看起來(lái)“霧蒙蒙”的。

4. 對(duì)焦點(diǎn)調(diào)整敏感度

在調(diào)焦過(guò)程中，圖像變化迅速而明顯，說(shuō)明當(dāng)前已接近焦點(diǎn)；

若變化緩慢或幾乎無(wú)變化，可能焦點(diǎn)遠(yuǎn)離目標(biāo)平面。

5. 使用標(biāo)準(zhǔn)樣品校驗(yàn)

可使用帶有微結(jié)構(gòu)的標(biāo)準(zhǔn)樣品（如金屬網(wǎng)、刻蝕樣片）判斷焦距是否準(zhǔn)確；

對(duì)于新手操作員尤為有幫助。

6. 輔助判斷方法

聚焦十字線法：部分 SEM 軟件會(huì)在屏幕中心顯示對(duì)焦十字線，觀察其區(qū)域的清晰度可快速判斷；

線掃描/邊緣函數(shù)分析：一些SEM 軟件支持通過(guò)邊緣銳度數(shù)值判斷是否對(duì)焦；

頻域分析（FT）：清晰圖像在頻譜上高頻成分豐富，模糊圖像頻率成分偏低。

7. 多倍率比較

在低倍時(shí)大致調(diào)焦，再切換到高倍微調(diào)焦距；

高倍成像對(duì)焦不準(zhǔn)時(shí)，圖像失焦現(xiàn)象更加明顯。