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掃描電鏡樣品表面太粗糙會影響成像嗎?

日期:2025-07-25

掃描電鏡(SEM)樣品表面太粗糙會明顯影響成像質量。以下是其具體影響及原因:

一、成像分辨率下降

粗糙表面會導致電子束入射角度變化劇烈,造成:

二次電子信號發散不均,圖像模糊;

邊緣增強過度,失真嚴重;

難以分辨細微結構或微小缺陷。

二、聚焦困難

由于樣品高度起伏不平,電子束很難在整塊區域內統一聚焦,造成:

圖像部分清晰、部分模糊;

放大倍率越高,焦深越淺,問題越明顯。

三、電荷積累嚴重(非導體)

粗糙表面增加絕緣區域表面積,容易出現:

局部帶電不均;

圖像漂移、閃爍、出現亮斑或黑影;

必須噴鍍導電層或降低加速電壓緩解。

四、能譜分析不準

進行能譜(EDS)分析時,粗糙表面會:

改變電子束入射角和出射角;

引起X 射線信號偏移或誤差增加;

影響元素分布圖(Mapping)精度。

五、樣品遮擋與陰影效應

表面高度差較大時,電子束會被凸起部分遮擋:

導致深坑、裂紋底部無法成像;

出現“陰影區”,圖像對比不均勻。


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作者:澤攸科技


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