掃描電鏡的探針電流對(duì)圖像質(zhì)量有何影響？
日期：2023-06-30
掃描電子顯微鏡（SEM）的探針電流是指通過(guò)樣品表面的電子束電流。探針電流的大小可以對(duì)掃描電鏡圖像的質(zhì)量和特性產(chǎn)生影響，主要包括以下幾個(gè)方面：
信號(hào)強(qiáng)度：較高的探針電流會(huì)導(dǎo)致更強(qiáng)的信號(hào)生成，這對(duì)于獲取較高的信噪比和圖像對(duì)比度是有益的。信號(hào)強(qiáng)度的增加可以提高圖像的亮度和清晰度，使細(xì)節(jié)更加明確可見(jiàn)。
樣品損傷：較高的探針電流可能會(huì)對(duì)樣品產(chǎn)生熱效應(yīng)，導(dǎo)致樣品受熱、損傷或發(fā)生電子束誘導(dǎo)的化學(xué)反應(yīng)。這可能會(huì)導(dǎo)致樣品的形貌和化學(xué)成分發(fā)生改變，從而影響圖像的準(zhǔn)確性和可靠性。
解析度：探針電流的增加會(huì)影響掃描電鏡的空間分辨率。雖然較高的探針電流可以提供更強(qiáng)的信號(hào)，但也會(huì)增加電子束的散射和衍射效應(yīng)，從而降低圖像的解析度和細(xì)節(jié)呈現(xiàn)能力。
表面充電效應(yīng)：較高的探針電流可能引起樣品表面的電子束電荷積累，導(dǎo)致電荷不平衡和表面充電效應(yīng)。這些充電效應(yīng)可能會(huì)導(dǎo)致圖像中出現(xiàn)偽像、扭曲或偏移，并影響材料的真實(shí)表面形貌的觀察。
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作者：澤攸科技