掃描電鏡是否適用于非導(dǎo)電樣品
日期：2023-06-29
傳統(tǒng)的掃描電鏡（SEM）對于非導(dǎo)電樣品確實存在困難，因為非導(dǎo)電樣品在高真空環(huán)境下容易產(chǎn)生電荷積聚，導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降。然而，有幾種方法可以克服這個問題，使SEM適用于非導(dǎo)電樣品：
導(dǎo)電涂層：可以在非導(dǎo)電樣品表面涂覆一層薄導(dǎo)電涂層，如金屬或碳。這樣可以提高樣品的導(dǎo)電性，減少電荷積聚。涂層可以使用蒸鍍、濺射或碳沉積等技術(shù)進行。
低真空模式：SEM通常具有低真空模式，通過在觀察時引入少量氣體（如氮氣），可以降低真空環(huán)境，減少電荷積聚。低真空模式下，樣品表面的氣體分子可以提供導(dǎo)電路徑，減少電子束與樣品的相互作用。
水合作用：對于某些非導(dǎo)電樣品，水分或水蒸氣的存在可以幫助降低電荷積聚。水分子與樣品表面發(fā)生水合作用，提供導(dǎo)電路徑，減少電荷積聚。這可以通過在SEM環(huán)境中控制濕度或使用濕態(tài)SEM來實現(xiàn)。
金屬導(dǎo)電粘合：對于大型非導(dǎo)電樣品，可以使用金屬導(dǎo)電粘合劑將樣品固定在導(dǎo)電支架上。這樣可以在SEM觀察時提供導(dǎo)電路徑，減少電荷積聚。
低電子束能量：降低電子束能量可以減少電子束與非導(dǎo)電樣品的相互作用，從而減少電荷積聚。但需要注意，降低電子束能量可能會導(dǎo)致圖像分辨率降低。
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作者：澤攸科技