如何判斷掃描電鏡的圖像是否聚焦良好？
日期：2025-05-23
判斷掃描電鏡（SEM）圖像是否聚焦良好，主要依靠觀察圖像的細節(jié)清晰度和邊緣銳利度。以下是一些具體方法和技巧：
細節(jié)清晰度
圖像中微小結(jié)構(gòu)（如顆粒邊緣、紋理、裂縫等）是否清晰分明，沒有模糊或拖影。
細節(jié)處的對比度是否明顯，邊緣分界清楚。
邊緣銳利度
樣品表面形貌的邊緣線條應(yīng)清晰銳利，不出現(xiàn)模糊擴散。
觀察邊緣是否有“暈影”或模糊，這通常表示焦點未對準。
三維感和立體感
聚焦良好的圖像通常具有較強的立體感，陰影和高光分布合理。
焦點偏差會使圖像顯得扁平或細節(jié)層次不分明。
對比度變化
適當調(diào)整焦距時，圖像對比度會出現(xiàn)明顯變化，正確聚焦時對比度高。
輔助調(diào)整
利用SEM軟件中的聚焦輔助功能（如自動對焦或聚焦峰值顯示）。
使用放大倍率逐步微調(diào)焦距，觀察圖像變化。
通過調(diào)節(jié)工作距離和電子束參數(shù)，尋找聚焦點。
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作者：澤攸科技