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樣品在 SEM 中放置角度會影響圖像嗎?

日期:2025-05-20

樣品在掃描電子顯微鏡(SEM)中的放置角度確實會影響獲得的圖像質量和信息。具體影響主要體現在以下幾個方面:

信號強度和對比度變化

SEM 的電子束垂直照射樣品表面時,反射電子(反射電子成像)和二次電子(形貌成像)信號通常更強,圖像對比度較好。如果樣品傾斜角度較大,電子束入射角變斜,信號強度可能減弱,導致圖像對比度降低或細節不清晰。

形貌和立體感的表現

適當傾斜樣品(比如通常傾斜 30° 或 45°)可以增強表面立體感,因為二次電子信號受表面粗糙度和角度影響較大。這種傾斜常用于觀察斷口、斷層、刻蝕結構等,有助于獲得更明顯的三維形貌信息。

幾何畸變和尺寸測量誤差

樣品放置角度不垂直于電子束時,圖像會產生幾何投影畸變,測量尺寸時需要校正傾斜角度,否則得到的尺寸數據會偏大或偏小。

元素分析信號的影響

在做能譜(EDS)分析時,樣品角度會影響X射線的產生和探測效率,傾斜過大會導致信號減弱或不均勻,從而影響元素定量分析的準確性。

避免陰影效應

如果樣品角度擺放不當,特別是高大結構或凸起部分,會在電子束照射下產生陰影,導致圖像部分區域信號缺失或變暗。


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作者:澤攸科技


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