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掃描電鏡開機后電子束無法對中該如何調整

日期:2025-05-07

當掃描電鏡(SEM)開機后電子束無法對中時,可按以下步驟系統排查和調整:

1. 基礎檢查

確認真空狀態:確保鏡筒和樣品室已達工作真空(通常顯示“Ready”)。

檢查電子槍狀態:

鎢燈絲SEM:確認燈絲已飽和(發射電流穩定)。

場發射SEM:檢查發射電流和提取電壓是否正常。

樣品臺位置:復位到“Home”位置,避免機械干涉。

2. 電子束對中流程

步驟1:低倍率初步對中

選擇導電性好的校準樣品(如鍍金硅片),裝載到樣品臺。

切換至低倍率(100×~500×),聚焦圖像。

調節電子槍對中(Gun Alignment):

通過軟件或面板調整Gun Tilt和Gun Shift,使束斑居中。

鎢燈絲SEM建議在Spot Size 3~5下操作。

步驟2:聚光鏡與光闌對中

聚光鏡調整:

調節Condenser Lens Current,使束斑直徑最小且居中。

若束斑發散,檢查透鏡電源是否穩定。

物鏡光闌對中:

插入物鏡光闌(如30μm),在高倍率(10,000×)下觀察。

調節Aperture X/Y旋鈕,直至圖像亮度均勻無陰影。

若圖像抖動,清潔或更換污染的光闌。

步驟3:合軸與像散校正

切換至高倍率(50,000×以上),聚焦樣品邊緣。

調節Alignment Coils(或軟件中的Beam Shift),確保圖像放大/縮小時中心不漂移。

使用Stigmator消除像散:調整X/Y使圖像細節清晰對稱。


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作者:澤攸科技


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