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如何判斷掃描電鏡是否需要重新調焦?

日期:2025-04-29

判斷掃描電鏡(SEM)是否需要重新調焦,可以通過以下幾個方法和信號來判斷:

一、圖像質量變化

圖像模糊

如果圖像出現模糊或不清晰的現象,即使在適當的電流和加速電壓下,通常是焦點不準的表現。特別是在成像時無法看到細節或有明顯的陰影。

邊緣不清晰

掃描電鏡的焦點不準時,樣品的邊緣會變得模糊或不鋒利,難以分辨細小的結構。

圖像對比度降低

失焦可能導致圖像的對比度不如正常時明顯,細節缺失或無法區分樣品的不同部分。

層次感下降

掃描電鏡需要通過精確的焦距來獲得樣品表面的三維信息。如果焦距偏離,可能導致表面形態不清晰或立體感不足。

二、樣品特性變化

焦點漂移

如果在長時間成像過程中,圖像的清晰度不斷下降,可能是焦點漂移導致的。通常需要重新校準焦距。

層間對比度變化

對于較復雜或多層的樣品,焦距不準會影響層間的對比度,使得不同層次之間的區分變得困難。

三、操作過程中出現的問題

掃描過程中出現"散射"或"模糊"

在較低放大倍率下,如果圖像顯示正常但在高放大倍率下圖像變得模糊,可能是焦點失準所致。

點像散射

如果發現圖像中出現明顯的圓形散點或亮斑,可能是樣品表面或內部的聚焦不準確。

四、通過實際操作判斷

焦點校準(Adjust Focus)

進入SEM的焦點調整模式,嘗試微調焦點。若圖像迅速變得更清晰或者更加模糊,則說明焦點需要重新調整。

利用電子束掃描小物體

通過掃描已知細節明確的小物體(例如細微顆粒、裂縫等),檢查是否能獲得高質量的清晰度和細節。如果不清晰,可能是焦距不合適。

檢查圖像清晰度曲線

一些SEM設備提供焦距校準功能,可以通過查看圖像清晰度隨焦距的變化來確定是否需要重新調焦。

五、其他判斷方法

調節電流時的響應

調整探針電流(束流強度)時,如果焦點不正確,圖像的亮度和對比度可能變化不規律。

使用標準樣品

使用已知的標準樣品(如標準微米顆粒)進行測試,觀察圖像是否能清晰呈現。如果無法清晰顯示標準樣品的細節,則說明可能需要重新調焦。


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作者:澤攸科技


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