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掃描電鏡的掃描速度對成像質(zhì)量有何影響?

日期:2025-04-18

掃描電鏡(SEM)的掃描速度對成像質(zhì)量有非常重要的影響,它會直接決定圖像的清晰度、噪聲水平、對比度以及成像時間。下面是詳細(xì)解釋:

一、掃描速度快的影響(短駐留時間)

當(dāng)掃描速度較快(也就是電子束在每個像素上的駐留時間很短)時:

1. 圖像信噪比較低

電子束每個像素只激發(fā)出較少的二次電子/背散射電子 → 電子信號較弱

信號電流低,圖像中噪聲增多,顆粒感強

2. 圖像模糊或?qū)Ρ榷炔?/span>

由于信號不充分,細(xì)節(jié)邊緣模糊,輪廓不清晰

易出現(xiàn)“漂移”或“條紋”偽影,特別是樣品不穩(wěn)定時

3. 優(yōu)點:成像速度快

適合快速預(yù)覽、尋找感興趣區(qū)域、對焦調(diào)節(jié)

二、掃描速度慢的影響(長駐留時間)

當(dāng)掃描速度較慢(電子束在每個像素上停留更久)時:

1. 圖像更清晰

激發(fā)出的電子更多 → 信號更強,圖像更銳利、邊緣更清楚

2. 噪聲更少

信噪比高,圖像更平滑、顆粒感低,對比度好

3. 缺點:成像時間長

整幅圖像采集時間變長,樣品更容易受:

熱漂移(特別是納米尺度)

充電效應(yīng)(非導(dǎo)電樣品)

機械漂移或電子束漂移


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作者:澤攸科技


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