掃描電鏡樣品太大放不進(jìn)去怎么辦？
日期：2025-04-11
當(dāng)掃描電鏡（SEM）樣品太大、無法放入樣品艙時，可以通過以下幾種方式解決或繞開限制：
解決思路與方法：
1. 切割或縮小樣品尺寸
優(yōu)點(diǎn)：直接解決體積過大問題，適用范圍廣。
做法：使用切割機(jī)、研磨設(shè)備將樣品切成適合尺寸的片狀或塊狀。
注意：切割面需打磨平整，并確保目標(biāo)觀察區(qū)域未被破壞。
2. 選擇適配的樣品臺或夾具
使用特殊定制樣品托盤或低矮型樣品夾，降低樣品整體高度；
一些 SEM 支持替換小型樣品艙蓋，提供更高的容納空間。
3. 傾斜安裝樣品
將樣品傾斜放置，避免因高度限制無法關(guān)腔門；
但可能會影響觀察角度或需重新校正工作距離。
4. 選擇大艙體或臺式兼容設(shè)備
更換為具備大樣品艙或**高工作距離（WD）的掃描電鏡型號；
某些臺式或桌面 SEM 專為大型樣品（如 PCB 板、整塊器件）設(shè)計(jì)。
5. 只觀察局部區(qū)域
如果樣品不能整體放入，可：
切割下目標(biāo)區(qū)域；
或借助復(fù)制技術(shù)（如用硅膠模具轉(zhuǎn)印結(jié)構(gòu)，再觀察復(fù)制品）。
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作者：澤攸科技