掃描電鏡圖像為什么突然變黑？
日期：2025-04-08
掃描電鏡（SEM）圖像突然變黑，意味著探測器沒有接收到足夠的信號或信號完全喪失。這種現象通常是突發性的，可能由以下幾類原因引起：
常見原因及應對方法：
1. 電子束突然中斷
可能原因：電子槍斷束、電源或燈絲老化、燈絲燒斷等。
應對：
檢查是否有“Gun OFF”或“Emission OFF”提示。
查看燈絲狀態，必要時聯系技術人員更換燈絲。
檢查高壓電源是否正常啟動。
2. 樣品位置移出探測范圍
可能原因：樣品快速移動、Z軸調節過高、聚焦/拉近時超出工作距離，導致信號丟失。
應對：
重置樣品工作距離（WD），一般回到10–15 mm。
將樣品臺移動回默認安全位置或“home”位置。
降低倍率查看是否還能找到樣品輪廓。
3. 探測器故障或關閉
可能原因：二次電子探測器（SE）、背散射電子探測器（BSE）未接通或失效。
應對：
檢查探測器是否已打開，電壓是否正常。
切換其他探測器查看圖像是否恢復。
檢查相關信號線和接頭是否松動或老化。
4. 樣品充電嚴重
可能原因：非導電樣品在高電壓下嚴重充電，電子束被散射或排斥，探測器收不到信號。
應對：
降低加速電壓至 5–10 kV。
改用低真空模式或做導電鍍膜（如碳或金膜）。
減小掃描范圍，短時觀察。
5. 真空系統異常
可能原因：真空未達到設定值，導致系統保護性關閉高壓。
應對：
檢查真空計讀數。
確認是否有“Vacuum error”提示。
等待系統抽氣完成，或檢查是否有漏氣。
6. 束流過強導致探測器保護
可能原因：束流過大使探測器保護電路觸發，自動關閉信號。
應對：
降低“Probe current”或“Spot size”。
減小曝光時間，避免定點轟擊。
7. 圖像參數設定不當
可能原因：亮度（Brightness）和對比度（Contrast）設置異常。
應對：
恢復默認圖像設置。
手動調節亮度/對比度直到圖像可見。
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作者：澤攸科技