中文
English

在掃描電鏡（SEM）中，樣品表面帶電現象會影響成像質量和圖像對比度。以下是一些減少樣品表面帶電現象的有效方法：

1. 使用導電涂層

涂覆導電膜：在非導電材料的樣品表面涂覆一層薄薄的導電膜（如金、鉑或碳），以提供導電路徑，減少電子束照射導致的帶電現象。

選擇適當厚度：確保涂層厚度適中，既能有效導電，又不會遮擋樣品表面的細節。

2. 采用低加速電壓

降低加速電壓：使用較低的加速電壓可以減少電子束能量，從而降低表面帶電現象的發生。雖然這可能會影響分辨率，但對某些樣品來說是可行的。

3. 增加束流強度

調節束流強度：適當增加束流強度可以提高樣品表面的導電性，降低帶電現象的影響。但要注意，不要過度增加以避免樣品損傷。

4. 使用接地裝置

接地樣品：在樣品臺上接地樣品，通過導電連接將樣品與設備接地，允許電荷在樣品表面自由釋放，從而減少帶電現象。

5. 控制環境因素

降低真空度：在高真空環境下，氣體分子較少，帶電現象更為明顯。適度調整真空度，以便保持一定的氣體壓強，促進電荷的釋放。

控制濕度：適當增加環境濕度，可以增加樣品表面的導電性，降低帶電現象。

6. 優化成像條件

選擇合適的探測模式：使用背散射電子（BSE）探測模式而不是二次電子（SE）模式，后者更容易受到帶電現象的影響。

調節掃描速度：提高掃描速度，可以減少電子束在樣品表面的停留時間，從而降低電荷積累。

7. 使用輔助設備

電子束中和器：在SEM中安裝電子束中和器，能夠向樣品表面發射電子，以中和積累的正電荷，減少帶電現象。

離子束中和器：使用離子束對樣品表面進行中和，可以有效消除表面電荷。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中如何減少樣品表面帶電現象。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢