掃描電鏡工作距離
日期：2024-05-09
掃描電鏡（SEM）的工作距離是指電子束從電子槍射出到樣品表面的距離。這個距離通常是一個重要的參數，會影響到成像的分辨率和深度。工作距離的選擇取決于多種因素，包括樣品類型、所需分辨率以及SEM系統的設計等。
通常情況下，SEM的工作距離可以在一定范圍內進行調節。較短的工作距離可以提高分辨率，因為電子束與樣品表面的距離更近，這樣產生的散射和衍射效應更小，有助于獲得更清晰的圖像。然而，較短的工作距離也會限制樣品的觀察深度。
相反，較長的工作距離可以提供更大的樣品觀察深度，但可能會犧牲一些分辨率。因此，在選擇工作距離時，需要根據具體的應用需求權衡分辨率和深度之間的關系。
SEM的典型工作距離通常在數毫米至數厘米范圍內，具體取決于SEM系統的設計和性能參數。一般來說，可以通過SEM系統的控制軟件或者物理調節手段來調整工作距離。
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作者：澤攸科技
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