掃描電鏡如何選擇適當的探測器角度和方向
日期：2023-11-03
在掃描電鏡中選擇適當的探測器角度和方向對于獲得所需的信號和信息非常重要。不同的探測器角度和方向可以用于不同的成像和分析目的。以下是一些選擇適當的探測器角度和方向的一些建議：
后向散射電子成像：BSE探測器通常安裝在掃描電鏡底部，以檢測從樣品返回的高能電子。探測器角度通常與電子束方向相反。這種成像通常用于獲得樣品的原子序數信息，例如化學成分和晶體結構。
同步輻射X射線熒光成像：XRF探測器通常安裝在樣品上方，以檢測從樣品表面發射的X射線。探測器的角度和位置取決于所需的元素成分分析。
透射電子顯微鏡：在TEM中，電子束透過樣品，而不是從樣品表面反射。探測器通常安裝在樣品的底部，以檢測透射電子的投射圖像。
散射電子顯微鏡：STEM中的電子束可以在樣品上進行定位，探測器可以以不同的角度和位置進行安裝，以獲取不同類型的信號，例如高角度散射電子成像。
能譜分析：用于能譜分析的探測器通常安裝在樣品上方，并根據所分析的元素以及所使用的光子或電子能量進行調整。
選擇取決于具體的研究目的，需要考慮所需的信號類型、分辨率、樣品類型和儀器配置。通常，通過嘗試不同的角度和方向來優化圖像和分析是一個有效的方法，以獲得所需的信息。
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作者：澤攸科技
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