掃描電鏡如何進行電子背散射（BSE）成像
日期：2023-11-01
電子背散射（BSE）成像是一種掃描電子顯微鏡（SEM）成像技術，它利用來自樣品表面的后向散射電子來生成高對比度的影像。BSE成像通常用于獲取有關樣品的原子成分和晶體結構的信息。
以下是進行SEM電子背散射成像的一般步驟：
樣品準備：首先，您需要準備您的樣品。樣品可以是固體、薄膜、顆粒等。確保樣品表面光滑，清潔并且導電性良好。
掃描電子顯微鏡設置：將SEM設置為BSE成像模式。這通常包括選擇加速電壓、適當的工作距離以及其他相關參數。
樣品加載：將樣品放置在SEM樣品臺上，并確保它牢固固定。通常使用導電性樣品支架，以確保樣品與SEM中的電子束之間有良好的電子導通。
調整參數：根據您的樣品，調整SEM參數，包括電子束電流、放大倍數等。
獲取圖像：使用SEM操縱系統，將電子束聚焦在樣品表面。BSE是由樣品中的原子核散射電子產生的，因此，獲得的BSE圖像提供了關于樣品成分和晶體結構的信息。
圖像分析：采集的BSE圖像可以用于分析樣品的元素分布、晶體紋理、相變等信息。通常使用SEM軟件進行圖像處理和分析。
電子背散射成像是SEM中的常見技術之一，用于獲得樣品的詳細信息，特別是在材料科學和地質學等領域。這種技術可幫助研究人員深入了解樣品的微觀結構和成分。
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作者：澤攸科技
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