如何選擇和設置掃描電鏡的工作距離和對焦參數
日期：2023-10-24
選擇和設置掃描電鏡（SEM）的工作距離和對焦參數是非常重要的，因為它們直接影響成像質量和分辨率。下面是一些關于如何選擇和設置SEM的工作距離和對焦參數的建議：
1. 工作距離選擇：
SEM的工作距離是電子束從電子槍到樣品表面的距離。通常，您需要選擇一個合適的工作距離，以確保樣品清晰可見。
在選擇工作距離時，要考慮到樣品的性質。通常，您需要將工作距離設置得更短以獲得更好的分辨率。
較長的工作距離可用于觀察大型樣品，而較短的工作距離適用于小樣品或需要高分辨率的情況。
2. 對焦參數設置：
對焦是使圖像清晰的關鍵步驟。對焦參數通常包括電子束電壓、孔徑和工作距離。
電子束電壓：增加電子束電壓會提高電子束的穿透能力，但也可能減小分辨率。通常，您需要選擇適當的電子束電壓以實現樣品的對焦。
孔徑：孔徑是控制電子束的大小和形狀的參數。較小的孔徑通常用于高分辨率成像，而較大的孔徑用于提高樣品的信號。
工作距離：調整工作距離以獲得合適的對焦。根據樣品的形狀和性質，您可能需要逐漸改變工作距離，直到圖像清晰。
3. 自動對焦功能：
許多現代SEM系統都配備了自動對焦功能，它可以幫助您更容易地獲得清晰的圖像。這些系統使用內置的對焦算法來自動調整對焦參數。
4. 樣品準備和標本制備：
樣品的準備和制備也會影響對焦。確保樣品表面平整、潔凈，并具有所需的導電性。
5. 檢查圖像：
在進行詳細的成像之前，進行初步的檢查以確保對焦正確。您可以通過在不同的對焦參數下拍攝幾張圖像，然后選擇清晰的圖像。
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作者：澤攸科技