掃描電鏡的操作和樣品加載步驟
日期：2023-10-20
掃描電鏡（SEM）用于觀察樣品的微觀結構和表面形貌。以下是掃描電鏡的一般操作步驟和樣品加載過程：
1. 掃描電鏡的準備：
打開電源并等待設備預熱。
啟動控制軟件，如Igor Pro或其他SEM軟件。
檢查系統(tǒng)狀態(tài)，確保所有零部件正常工作。
2. 樣品準備：
樣品須具備導電性或者需要被涂覆導電性薄層以避免電荷積累。
樣品需要固定在SEM樣品架上。樣品架通常有夾持夾或樣品支架。
3. 樣品加載：
打開樣品室，這是一個可以容納樣品的區(qū)域。
將樣品小心地安置在樣品架上。
封閉樣品室并確保安全鎖定，以防止樣品在成像期間受到震動或移動。
4. 設置成像參數(shù)：
使用控制軟件，設置所需的成像參數(shù)，包括放大倍數(shù)、電子束電壓、檢測器類型、掃描速度等。
調(diào)整焦距和工作距離，以獲得清晰的圖像。
設置掃描模式，如點掃描或行掃描。
5. 對樣品進行初步定位：
使用光學顯微鏡或低倍數(shù)SEM成像來對樣品進行初步定位，以便選擇感興趣的區(qū)域。
6. 開始成像：
啟動電子束并開始成像。
實時觀察屏幕上的圖像，確保獲得所需的圖像質(zhì)量。
在必要時根據(jù)觀察結果進行參數(shù)調(diào)整。
7. 數(shù)據(jù)記錄和保存：
SEM軟件通常允許您捕獲圖像和數(shù)據(jù)，將其保存在計算機中，或者導出到其他文件格式中以供進一步分析。
8. 結束操作：
成像完成后，關閉電子束并保存所有設置。
移除樣品并將其妥善存儲。
關閉掃描電鏡并斷電。
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作者：澤攸科技