如何選擇適合的探針和檢測器以進行掃描電鏡分析？
日期：2023-10-10
在選擇適合的探針和檢測器進行掃描電鏡（SEM）分析時，需要考慮要研究的樣品性質、所需分辨率、表面拓撲特征和所需信號類型。以下是一些常見的探針和檢測器以及它們的應用：
二次電子顯微鏡（SEMs）：
二次電子探針（SE）：用于獲得樣品表面的形貌信息，對樣品表面的拓撲特征非常敏感。適用于大多數樣品。
反射電子顯微鏡（BSE）：用于獲得樣品的原子數或密度信息，對高原子序數元素敏感。適用于成分分析。
能量色散X射線光譜分析（EDS）：
X射線能譜探測器：用于定量分析樣品的元素成分。適用于確定樣品的化學成分和元素分布。
掃描穿透電子顯微鏡（STEM）：
透射電子探針（TEM）：用于觀察樣品內部的細節(jié)，可實現高分辨率的原子級成像和分析。
反射光電子顯微鏡（REM）：
反射電子顯微鏡：用于獲得原子層面的表面形貌信息，對晶體結構和異質界面的研究非常有用。
探針柵顯微鏡（AFM）：
原子力顯微鏡：用于研究樣品的表面拓撲、力和磁性等性質。適用于非導電樣品。
在選擇探針和檢測器時，還需要考慮以下因素：
分辨率：選擇與所需分辨率匹配的設備。
樣品性質：考慮樣品的導電性、形狀和尺寸。
分析目的：明確您的分析目標，是觀察樣品的表面形貌、元素分布還是內部結構。
成本：不同類型的探針和檢測器有不同的價格，需要根據預算做出選擇。
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作者：澤攸科技