掃描電鏡中的電子束對(duì)樣品有哪些影響和損傷？
日期：2023-09-25
掃描電鏡中的電子束與樣品相互作用可能導(dǎo)致多種影響和損傷，這取決于電子束的能量、強(qiáng)度和樣品的性質(zhì)。以下是一些可能出現(xiàn)的影響和損傷：
電子束散射和吸收： 電子束在與樣品相互作用時(shí)可能會(huì)發(fā)生散射和吸收。這些過程可以導(dǎo)致成像中的對(duì)比度變化，尤其是在厚樣品中。
樣品加熱： 電子束的能量會(huì)被樣品吸收，導(dǎo)致樣品升溫。這對(duì)于熱敏感樣品來說可能是一個(gè)問題，因?yàn)楦邷乜梢砸l(fā)樣品的結(jié)構(gòu)變化或破壞。
表面電荷： 電子束可以引起樣品表面的電子排列變化，導(dǎo)致表面電荷的積累。這可能影響成像的對(duì)比度，并導(dǎo)致圖像中的偽影。
輻射損傷： 高能電子束可以損傷樣品的結(jié)構(gòu)，尤其是有機(jī)材料。這種損傷包括斷鍵、氧化和結(jié)構(gòu)退化。
充電和電子漂移： 電子束對(duì)樣品的電荷引起充電效應(yīng)，可能導(dǎo)致樣品的電子漂移，影響成像的穩(wěn)定性。
離子化和排出氣體： 在高能電子束作用下，樣品可能會(huì)發(fā)生氣體解吸和離子化，導(dǎo)致真空系統(tǒng)內(nèi)的氣體排放，影響成像和分析。
偽影和偽結(jié)構(gòu)： 樣品的電子束散射和吸收可能會(huì)產(chǎn)生偽影和偽結(jié)構(gòu)，影響成像的解析度和準(zhǔn)確性。
樣品漂移： 電子束可以引起樣品的微小位移，尤其是對(duì)于不穩(wěn)定的樣品來說，這可能導(dǎo)致圖像模糊或失真。
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作者：澤攸科技