如何預(yù)防掃描電鏡中的樣品表面電荷積累？
日期：2023-09-07
在掃描電鏡（SEM）中，樣品表面電荷積累是一個(gè)常見的問題，它可能導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降，特別是在非導(dǎo)電或絕緣性材料上。為了預(yù)防或減輕樣品表面電荷積累，可以采取以下措施：
樣品導(dǎo)電性處理： 對(duì)于非導(dǎo)電或絕緣性材料，可以通過將其表面鍍上一薄層導(dǎo)電性材料，如金屬（金、鉑、銀）或碳，來(lái)提高導(dǎo)電性。這有助于電子束的導(dǎo)電，并減少電荷積累。
使用導(dǎo)電樣品支撐： 在SEM分析過程中，您可以將樣品放在導(dǎo)電支撐物上，如導(dǎo)電碳帶或?qū)щ娞茧p面膠。這些支撐物可以幫助樣品導(dǎo)電，同時(shí)也有助于穩(wěn)定樣品的位置。
減小束流強(qiáng)度： 降低電子束的強(qiáng)度可以減少樣品表面電荷的積累。在SEM儀器上調(diào)整束流強(qiáng)度，以確保不會(huì)在樣品表面產(chǎn)生過多的電荷。
使用低加速電壓： 降低電子束的加速電壓可以減小電子束的穿透深度，從而降低電荷積累的風(fēng)險(xiǎn)。這可能會(huì)導(dǎo)致圖像分辨率降低，所以需要權(quán)衡。
電子束掃描模式： 選擇適當(dāng)?shù)碾娮邮鴴呙枘Ｊ剑绲碗娏鳌⒕€性模式，以減少電荷積累的速度。
使用防電荷涂層： 一些SEM儀器提供了防電荷涂層的選項(xiàng)，這些涂層可以降低電荷積累的風(fēng)險(xiǎn)。這些涂層在樣品上形成一個(gè)導(dǎo)電性薄層。
樣品旋轉(zhuǎn)： 定期旋轉(zhuǎn)樣品，以改變電荷積累的位置。這可以幫助均勻分散電荷。
避免長(zhǎng)時(shí)間曝曬： 盡量減少樣品長(zhǎng)時(shí)間暴露在電子束下。在不需要時(shí)，關(guān)閉電子束。
在真空下存儲(chǔ)樣品： 如果可能，將樣品存儲(chǔ)在SEM樣品室的真空環(huán)境中，以減少吸附在樣品表面的氣體分子。
樣品前處理： 在分析之前，進(jìn)行樣品的適當(dāng)前處理，如金屬鍍層、碳鍍層或樣品表面的清潔，以減少電荷積累。
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作者：澤攸科技