臺式掃描電鏡的樣品旋轉和傾斜功能如何影響成像結果？
日期：2023-08-28
臺式掃描電子顯微鏡（SEM）通常具有樣品旋轉和傾斜功能，這些功能可以對成像結果產生影響。下面是關于這些功能如何影響成像結果的一些信息：
樣品旋轉功能：
多角度觀察： 樣品旋轉功能允許你從不同的角度觀察樣品表面。通過觀察樣品的不同側面，可以獲取更全的信息，揭示樣品的三維形貌。
圖像對比： 旋轉樣品可以幫助你獲取不同角度下的圖像，從而使得對比更加明顯。特別是在表面有微小結構或特征時，從不同角度觀察可以揭示更多細節。
深度信息： 樣品旋轉可以提供關于表面高度、凹凸等結構的深度信息。在分析微小的拓撲特征時，旋轉功能可以增加數據的可靠性。
樣品傾斜功能：
透視效果： 樣品傾斜可以賦予圖像以透視效果，從而使得樣品表面的三維結構更加清晰可見。
視野變大： 傾斜樣品可以使得局部細節更容易被觀察，尤其是對于突出的特征或結構。
避免充電效應： 傾斜樣品可以改變電子束的入射角度，從而有助于減輕充電效應，提高成像質量。
需要注意的是，樣品旋轉和傾斜功能可能會對成像過程中的操作和參數設置產生一些影響：
深度對焦： 在使用樣品旋轉和傾斜功能時，需要注意調整深度對焦，以確保觀察到的圖像在整個深度范圍內都清晰可見。
信號強度： 樣品傾斜和旋轉可能會影響電子束與樣品之間的距離，從而影響信號的強度。需要適當調整電子束參數。
圖像處理： 在分析旋轉或傾斜圖像時，可能需要進行額外的圖像處理，如去除透視畸變、校正尺寸等。
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作者：澤攸科技
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