掃描電鏡如何生成樣品的表面形貌圖像
日期：2023-08-07
掃描電鏡（SEM）通過以下步驟生成樣品的表面形貌圖像：
樣品制備： 首先，需要將樣品制備成適合在SEM中觀察的形態(tài)。樣品應該是堅硬、平整、干凈的，并且可能需要進行導電涂層以減少電荷積累效應。
真空系統(tǒng)準備： SEM操作需要在高真空環(huán)境中進行，以避免電子束與氣體相互作用。因此，需要啟動真空泵以將SEM系統(tǒng)的壓力降低到適當?shù)恼婵占墑e。
樣品安裝： 將樣品安裝在SEM的樣品臺上。樣品臺通常具有可調(diào)節(jié)的XY臺移動功能，以便將樣品表面映射到電子束的掃描區(qū)域。
電子束準備： 啟動電子束并設置適當?shù)碾娮邮鴧?shù)，如加速電壓、聚焦、亮度等。這些參數(shù)將影響電子束的性質(zhì)和聚焦效果。
掃描和成像： 將電子束掃描在樣品表面上。在掃描過程中，電子束與樣品表面的不同區(qū)域相互作用，產(chǎn)生次級電子（SE）和反向散射電子（BSE）等信號。這些信號會被探測器捕獲。
信號采集和處理： 探測器捕獲次級電子和反向散射電子等信號，并將其轉化為電信號。這些信號被處理并送入圖像顯示系統(tǒng)，形成黑白圖像或灰度圖像。
圖像顯示和獲取： 處理后的信號被送入圖像顯示器，顯示出樣品表面的圖像。圖像可以是灰度圖像，其中不同灰度值對應于樣品表面的不同高度或特性。
圖像分析： 獲取的圖像可以通過圖像分析軟件進行進一步處理和分析。可以進行像素分析、輪廓提取、粒徑分析、形貌分析等操作，以獲取關于樣品表面形貌和特性的更多信息。
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作者：澤攸科技