掃描電鏡如何控制電子束的聚焦和定位
日期：2023-08-01
掃描電鏡（SEM）通過對電子束進(jìn)行聚焦和定位來實現(xiàn)高分辨率的顯微觀察。控制電子束的聚焦和定位主要涉及磁透鏡系統(tǒng)和樣品掃描控制。
電子束聚焦： SEM中的電子束聚焦主要是通過磁透鏡系統(tǒng)來實現(xiàn)的。這些磁透鏡系統(tǒng)包括透鏡和除焦磁鐵等元件。當(dāng)電子束通過透鏡系統(tǒng)時，透鏡會對電子束進(jìn)行聚焦，使其在樣品表面形成一個小的聚焦點(diǎn)。透鏡系統(tǒng)中的電流或電壓可以調(diào)節(jié)，從而控制電子束的聚焦效果。聚焦后的電子束能夠提供更小的束斑（beam spot），從而獲得更高的分辨率。
電子束定位：電子束的定位是指將電子束準(zhǔn)確地定位在樣品的不同區(qū)域。這是通過控制樣品臺的運(yùn)動來實現(xiàn)的。樣品臺可以在水平和垂直方向上進(jìn)行微小的運(yùn)動，使得電子束可以掃描在樣品表面的不同區(qū)域。通過控制樣品臺的運(yùn)動，可以將電子束定位在特定的樣品區(qū)域，從而實現(xiàn)對不同區(qū)域的觀察和分析。
SEM中的電子束聚焦和定位通常由計算機(jī)控制系統(tǒng)來實現(xiàn)。操作者可以通過計算機(jī)界面調(diào)整電子束的聚焦和定位參數(shù)，從而實現(xiàn)所需的觀察和分析。通過對電子束進(jìn)行準(zhǔn)確的聚焦和定位，SEM可以提供高分辨率和高精度的顯微觀察，并在樣品表面獲取豐富的信息。
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作者：澤攸科技