掃描電鏡的工作模式包括哪些？
日期：2023-07-07
掃描電子顯微鏡（SEM）具有多種工作模式，可根據不同的需求和應用選擇適當的模式。以下是常見的幾種SEM工作模式：
高真空模式：高真空模式是SEM的基本工作模式。在該模式下，樣品和檢測器被置于真空環境中，以減少電子束與氣體的相互作用，提供清晰的圖像和較高的分辨率。高真空模式適用于大多數樣品觀察和分析，尤其是固態樣品。
低真空模式：低真空模式允許在較高的氣壓下進行觀察，而無需將樣品進行涂覆或處理。這種模式適用于非導電樣品、生物樣品、濕潤樣品和松散樣品等不適合在高真空下觀察的樣品。低真空模式可提供更高的樣品適應性，并減少電子束與氣體相互作用產生的充電效應。
透射電子顯微鏡模式：某些SEM設備具備透射電子顯微鏡模式，允許使用透射電子探測器進行樣品的透射電子顯微觀察。TEM模式可以提供更高的分辨率和更詳細的樣品內部信息，適用于納米級別的結構和成分分析。
掃描透射電子顯微鏡模式：STEM模式將電子束掃描到樣品上，同時收集透射電子的散射信號，用于樣品表面的高分辨率成像和元素分析。STEM模式在高分辨率成像和原子級結構分析方面具有很高的能力。
分析模式：SEM還可以與各種分析技術結合使用，例如能量色散X射線光譜和電子背散射衍射。這些分析技術可用于獲取樣品的化學成分、結晶結構、晶格取向等信息。
每種工作模式具有不同的優勢和適用范圍，具體的選擇應根據樣品類型、所需分辨率、分析目的和設備功能來確定。在使用SEM之前，建議參考SEM制造商的指南和技術規格，以了解具體設備的工作模式和操作方法。
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作者：澤攸科技
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