臺式掃描電鏡中的電子束是如何生成的
日期：2023-06-27
臺式掃描電鏡中的電子束是通過以下步驟生成的：
電子槍：臺式掃描電鏡中的電子束通常由一個電子槍產(chǎn)生。電子槍通常包括一個熱陰極和一個陽極。熱陰極是一個由熱絲構(gòu)成的發(fā)射器，當(dāng)通過它通電時，熱絲會加熱并發(fā)射出電子。
電子發(fā)射：在電子槍中，熱陰極加熱后會釋放出自由電子，這個過程稱為電子發(fā)射。這些發(fā)射的電子被稱為初級電子。
加速電場：初級電子從電子槍中發(fā)射出來后，進(jìn)入一個加速電場。加速電場通過一個高壓電源，在槍體和陽極之間產(chǎn)生一個電場，使初級電子獲得較高的能量。
聚焦系統(tǒng)：在初級電子被加速后，它們進(jìn)入聚焦系統(tǒng)。聚焦系統(tǒng)包括一組電磁透鏡或電場透鏡，用于將初級電子束聚焦成一個尖銳的束流，并控制其直徑和形狀。
準(zhǔn)直系統(tǒng)：準(zhǔn)直系統(tǒng)用于使電子束保持平行和平面，并校正電子束的偏轉(zhuǎn)。
束流控制：束流控制系統(tǒng)用于調(diào)節(jié)電子束的亮度和電子流強(qiáng)度。它通常包括一個開關(guān)和/或調(diào)節(jié)器，用于控制電子束的開關(guān)、亮度和聚焦等參數(shù)。
通過以上步驟，臺式掃描電鏡中的電子束得以生成，并且經(jīng)過聚焦、準(zhǔn)直和束流控制等步驟的處理，使其具有足夠的能量和聚焦性能，用于樣品表面的掃描和成像。
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作者：澤攸科技