如何處理掃描電鏡樣品以避免電荷積累和圖像失真
日期：2023-05-23
在掃描電鏡（SEM）中，電荷積累和圖像失真是常見的問題。下面是一些處理樣品的方法，以避免電荷積累和圖像失真：
樣品制備：
樣品應盡可能干燥，避免含有水分。水分會導致電子束發生散射并引起電荷積累。
對于非導電樣品，可以使用導電涂層（如金或碳）覆蓋樣品表面，以提高導電性并減少電荷積累。
適當的真空條件：
確保SEM處于適當的真空條件下工作，以減少電子束與氣體分子的相互作用。
使用真空泵和減壓系統來維持恰當的真空水平。
優化掃描參數：
選擇合適的加速電壓和探針電流，以避免電子束過強或過弱，從而減少電荷積累。
調整掃描速度和圖像積分時間，以避免過長的掃描時間造成電荷積累。
動態掃描模式：
使用動態掃描模式（如線性掃描或隨機掃描）而非靜態掃描模式，可以減少電荷積累的影響。
動態掃描模式在每個像素位置上停留的時間較短，減少了電子束在樣品表面停留的時間，從而減少電荷積累。
降低電子束能量：
對于某些樣品，尤其是具有低導電性或易受損的樣品，可以降低電子束的能量。較低的能量會減少電子束的穿透能力，降低電荷積累和圖像失真的風險。
清潔樣品表面：
在樣品放入SEM前，確保樣品表面清潔，無塵、無油和無雜質。盡量避免使用粘性膠帶等粘附物。
優化圖像采集：
在采集圖像時，使用適當的圖像參數，如對比度、亮度和增益，以獲得清晰的圖像并降低圖像失真。
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作者：澤攸科技
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