掃描電鏡中的電子束與樣品的相互作用是什么？
日期：2023-05-22
在掃描電鏡（SEM）中，電子束與樣品之間存在多種相互作用。這些相互作用包括：
散射：當電子束與樣品中的原子或分子相互作用時，會發生散射現象。這包括彈性散射（即高角度散射，用于成像）和非彈性散射（即低角度散射，通常用于能譜分析）。散射事件提供了有關樣品中原子排列、晶體結構和化學成分的信息。
透射：在樣品較薄或具有透明性的區域，電子束可能會穿過樣品而不被散射。這種透射現象類似于透射電子顯微鏡（TEM），它提供了關于樣品的內部結構和組成的信息。
吸收：樣品中的原子或分子可以吸收電子束的能量，導致電子束的衰減。這種吸收現象可以用于測量樣品的組成和密度。
輻射：電子束與樣品相互作用時，會產生輻射，如熒光輻射、逆康普頓散射和布拉格反射。這些輻射事件提供了有關樣品的能譜信息。
電荷交換：電子束與樣品中的原子或分子之間可能發生電荷交換，導致電子束和樣品之間的電荷轉移。這種電荷交換作用可以用于探測樣品的電荷狀態、化學反應和表面電荷密度。
這些電子束與樣品的相互作用產生的信號可以被SEM系統檢測和記錄，用于生成圖像和分析樣品的結構、形貌、組成和性質。不同的相互作用方式可以用于不同的SEM技術和應用，如成像、能譜分析、電子背散射圖像等。
ZEM15臺式掃描電子顯微鏡
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作者：澤攸科技